Система обнаружения утечек гелия в вакуумной камере для полупроводниковых компонентов/печати

Система вакуумной камеры для обнаружения утечек гелия для полупроводниковых компонентов/уплотнений

Введение в систему обнаружения утечек гелия

Используется для обнаружения утечек в электронных компонентах/уплотнениях. Решение состоит из баллона с гелием под давлением, камеры для обнаружения утечек и масс-спектрометрического детектора утечек гелия.

Особенности системы обнаружения утечек гелия

1. Уникальная конструкция газовой цепи улучшает скорость откачки гелия, сокращает время очистки от гелия и эффективно предотвращает загрязнение гелием;

2. Минимальная обнаруживаемая скорость утечки низкая, чувствительность высокая, а диапазон обнаружения может достигать 12-го уровня;

3. Функции интеллектуальной индикации неисправностей и сигнализации.

Состав системы обнаружения утечек гелия

Решение состоит из баллона с гелием под давлением, камеры для обнаружения утечек и масс-спектрометрического детектора утечек гелия. Электронные компоненты или уплотнения помещаются в баллон с гелием под давлением, гелий заданной концентрации

Применение продукта

Полупроводниковая промышленность, компоненты/уплотнения