Детектор утечек гелия на сухом насосе для обнаружения утечек в вафелях SFJ-231D
| Communication Interface: | RS232/485, LAN | Leak rate display: | Numbers, Bar Charts, Graphs |
| User Interface: | 7inch Color Touch Screen | Product Name: | Helium Leak Detector |
| Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Vaccum Mode: | 5*10-13 Pa.m3/s | Response Time(s): | <1s |
| MES Interface: | Standard | Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Sniffer Mode: | 2.5*10-9 Pa.m3/s |
| High Light: | Ультрачувствительный детектор утечки гелия,Детектор утечки гелия в режиме нюхания,Графики показывают детектор утечки гелия |
||
Сухой насос гелиевого течеискателя для обнаружения утечек на пластинах SFJ-231D
Технические параметры гелиевого течеискателя SFJ-231D
| Название продукта | Гелиевый течеискатель SFJ-231D |
| Минимальная обнаруживаемая скорость утечки (Па·м³/с) / вакуумный режим | 5.0*10-13 Па·м3/с |
| Минимальная обнаруживаемая скорость утечки (Па·м³/с) / режим работы с пробником | 5.0*10-9 Па·м3/с |
| Максимально допустимое давление при обнаружении утечек (Па) | 1500 |
| Время отклика | <1с |
| Время запуска | ≤2мин |
| Обнаруживаемое вещество | 2, 3,4(H2 ,He3, He4) |
| Интерфейс человек-машина | 7-дюймовый цветной сенсорный ЖК-экран |
| Ионный источник | 2 шт., иридиевое покрытие оксида иттрия, автоматическое переключение |
| Интерфейс ввода/вывода | 8 входов и 8 выходов |
| Интерфейс связи | RS232/485, USB*2 |
| Интерфейс MES | стандартный |
| Порт обнаружения утечек | DN25KF |
| Электропитание | AC220В, 50Гц/60Гц |
| Рабочая температура | 0~40°C |
| Язык | Английский |
| Отображение скорости утечки | Цифровое, гистограмма, график |
| Размеры | 645*678*965мм |
Применение гелиевого течеискателя SFJ-231D для пластин
В технологии обнаружения утечек методом гелиевой масс-спектрометрии применение сухих насосов (безмасляных сухих вакуумных насосов) в основном зависит от условий работы проверяемого оборудования, требований к чистоте и технических требований к гелиевым масс-спектрометрическим течеискателям (например, Wayeal SFJ-231D).
Метод обнаружения: вакуумный метод распыления гелия (режим высокой чувствительности)
1: Эвакуация системы и калибровка базовой линии
Эвакуация до базового давления: камера травления: ≤0,1 Па (комбинация сухого насоса + молекулярного насоса); камера CVD/PVD: ≤10⁻³ Па (более высокие требования к оборудованию для нанесения покрытий).
Калибровка течеискателя: используйте стандартный эталон утечки (например, 1×10⁻⁷ Па·м³/с) для калибровки SFJ-231D и проверки линейности отклика прибора.
Шаг 2: Обнаружение распылением гелия
Область обнаружения: канавки уплотнительных колец, отверстия для болтов, металлические уплотнения VCR/VCO, сварные швы, керамические изоляторы, медные прокладки, Соединения сильфонов.
Операция распыления гелия:
Используйте ручной распылитель гелия (с тонким соплом регулировки 0,1 мм) на расстоянии 3-5 мм от точки обнаружения. Перемещайте со скоростью 5 см/с, задерживаясь на 2-3 секунды в каждой точке (время отклика SFJ-231D <1 сек). Отрегулируйте давление гелия до 0,2-0,3 МПа, чтобы избежать нарушения воздушного потока.
Шаг 3: Определение и запись точки утечки
Скорость утечки: Допустимая скорость утечки полупроводникового оборудования: обычно ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с (в соответствии со стандартами SEMI).
Запись данных: Когда SFJ-231D отображает пик скорости утечки, отметьте точку утечки маркером.
Сохраните кривые скорости утечки и данные о местоположении (экспорт через USB).
Шаг 4: Повторная проверка и верификация
Выполните повторное распыление гелия на выявленные утечки, чтобы подтвердить повторяемость.
После устранения основных утечек повторно эвакуируйте до базового давления и проведите полную повторную проверку.
Мини детектор утечек 5*10-13Pa.m3/s с 7-дюймовым сенсорным экраном
Технические характеристики детектора утечек гелия SFJ-16C Название продукта Детектор утечек гелия SFJ-16C Размеры 755*467*1180 мм Рабочая температура 0~40°C Обнаруживаемое качество 2, 3, 4 (H2, He3, He4) Пользовательский интерфейс 7-дюймовый цветной сенсорный экран Метод обнаружения Обнаружение утеч...
24В модульный вакуумный гелиевый масс-спектрометр детектор утечек
Модульный детектор утечек Вакуумный гелийный детектор утечек Введение детектора утечки гелия Модульный детектор утечек гелийного масс-спектрометра использует модульную конструкцию, небольшие размеры, легкий вес, легкую интеграцию системы, широко используется в различных автоматических сборочных лини...
Испытание утечки гелия вакуума подвергает детектор механической обработке газа 240W спектра массы
Вакуумный детектор утечки гелия, детектор утечки массового спектра на насосе Введение детектора утечки гелия Детектор утечки гелийного масс-спектрометра использует модульную конструкцию, которая легко интегрируется в систему и широко используется на различных автоматизированных сборочных линиях. Пар...
Уайэл Гелий Тестер для проверки утечки Гелий Масс-спектрометр Установка для обнаружения утечки
Машина для обнаружения утечек гелийного масс-спектрометра для полупроводниковой электронной промышленности Введение детектора утечки гелия Гелий массовой спектрометрии детектор утечек является инструментом для быстрого локализации и количественного измерения утечек в герметичных контейнерах.Метод об...
- Электронная почта:export@wayeal.com.cn
- Телефон:+8613586823203
- Whatsapp:8613586823203
- Wechat:+8613586823203
