Вакуумный измеритель пирани из нержавеющей стали для детектора утечки гелия

Введение вакуумного измерителя Пирани

Вакуумный датчик Пирани является ключевым датчиком в вакуумной системе гелийного массового спектрометра,используется для измерения давления в диапазоне от среднего до низкого вакуума (особенно во время стадии грубого перекачивания)Основной элемент датчика, как правило, изготовлен из металлов, таких как вольфрам или никель, в то время как общий корпус построен из нержавеющей стали.

Функция вакууммера Пирани

Вакуумный габарит Пирани выполняет функции "процессового монитора" и "система защиты" в гелийных спектрометрах массовых утечек с следующими специфическими функциями:
Мониторинг вакуумного давления грубого насоса (предняя линия):
При запуске детектора утечки механический насос должен сначала вывести вакуумную систему из атмосферного давления до относительно низкого давления (обычно порядка 10 Pa до 0,1 Pa).Измеритель Пирани отслеживает изменения давления на этом этапе в реальном времени и отображает их на интерфейсе прибора.
Подача сигнала блокировки для открытия клапана высокого вакуума (защитная функция ядра):
Камера масс-спектрометра ядра детектора утечки может работать только в условиях высокого вакуума (обычно ниже 0,1 Pa).Если клапан высокого вакуума (соединяющий механический насос с диффузионным насосом/турбомолекулярным насосом) открывается до того, как давление в передней линии достаточно низкое, это может серьезно повредить высоковакуумный насос и загрязнить всю систему.
Измеритель Пирани соединен с системой управления прибором.Система управления позволит открыть высоковакуумный клапан и запустить турбомолекулярный насос только тогда, когда измеритель Пирани обнаружит, что давление передней линии ниже заданного предела безопасностиЭто критическая мера безопасности для защиты дорогостоящего высоковакуумного насоса и масс-спектрометра.
Помощь в диагностике состояния системы и локализации утечки:
При наблюдении скорости падения давления при откачке и достигаемого окончательного стабильного давления,можно предварительно определить, есть ли в системе большая утечка (давление постоянно не падает) или значительное внутреннее выброс газов (давление падает медленно).
Во время тестов на утечку, если распыляние гелия не только вызывает реакцию на сигнал масс-спектрометра, но и вызывает заметное повышение показания примера Пирани,обычно указывает на наличие относительно большой утечки.